Το Βάθος Επιφανειακής Σκληρότητας (Case Hardness Depth, CHD) αποτελεί την σημαντικότερη παράμετρο αξιολόγησης της θερμικής κατεργασίας ενός εξαρτήματος . Το Βάθος Επιφανειακής Σκληρότητας  προσδιορίζεται με  μετρήσεις της επιφανειακής σκληρότητας διαδοχικά σε βάθος από την επιφάνεια προς τον πυρήνα του υλικού, μέχρι να μετρηθεί η ζητούμενη τιμή σκληρότητας. Η τιμή σκληρότητας εξαρτάται από τη διαδικασία θερμικής κατεργασίας και καθορίζεται ως κάτωθι:

1. Ενανθράκωση (EN ISO 2639)
Όριο Σκληρότητας  = 550 HV
CHD (Eht) = Η απόσταση από την επιφάνεια μέχρι το σημείο που η σκληρότητα είναι 550 HV

2. Επαγωγική βαφή ή φλογοβαφή (EN 10328, ISO 3754)
Όριο Σκληρότητας= 80% τουλάχιστον της επιφανειακής σκληρότητας .
CHD (Rht) = Η απόσταση από την επιφάνεια μέχρι το σημείο που η σκληρότητα είναι τουλάχιστον 80% της επιφανειακής σκληρότητας.

3. Εναζώτωση ή Εναζωτοανθράκωση (DIN 50190-3)
Όριο Σκληρότητας= Σκληρότητα πυρήνα + 50 HV.
CHD (Nht, NCD) = Μέγιστη απόσταση από την επιφάνεια μέχρι το σημείο που η σκληρότητα είναι 50HV1 περισσότερη από την σκληρότητα πυρήνα.